<DLP/DMD光刻照明光源-上海昊量光電設備有限公司
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DLP/DMD光刻照明光源

簡要描述:DLP/DMD光刻照明光源:昊量光電新推出LumiDLP光刻照明光源通過大面積提供高度均勻的通量密度為紫外DLP應用提供qian所wei有的速度和分辨率。模塊化設備結合了密集封裝的UV-LED陣列成為一種高效、非成像采集光學設備,集成了遠心成像光學優化DLP芯片組。

  • 產品型號:
  • 廠商性質:代理商
  • 更新時間:2022-12-21
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昊量光電新推出LumiDLP光刻照明光源通過大面積提供高度均勻的通量密度為紫外DLP應用提供qian所wei有的速度和分辨率。模塊化設備結合了密集封裝的UV-LED陣列成為一種高效、非成像采集光學設備,集成了遠心成像光學優化DLP芯片組。

這款DMD光刻光源為基于DLP技術的具有挑戰性的曝光應用提供出色的UV-LED照明。特別是要求蕞高強度和多波長光譜的設置非常適合。數值孔徑為0.2(光束角度±12°)和非常高的照明均勻性、這些構成DLP-芯片曝光的wan美解決方案。

DLP/DMD照明器提供高達30W的光輻射功率。單波長和多波長設置可供選擇(365nm、385nm、395nm、405nm)。這款DLP/DMD光刻照明光源提供的輻射功率與汞放電燈相當、但具有LED技術的壽命和總成本優勢。此外、DLP/DMD光刻照明光源還可以很好地替代基于單色激光二極管(例如、LD405nm)的照明器。

LumiDLP光刻照明光源是專為DLP9000和DLP9500芯片設計的、可以輕松集成到基于DMD的系統中。


DLP/DMD 光刻照明光源產品亮點:

  • 專為DLP®9000和DLP®9500設計

  • 包括高性能LED驅動器、便于控制和編程

  • 高強度性能能夠縮短/減少處理時間

  • 由于頻譜寬廣、可以使用多種類型的抗蝕劑

  • 不會過時的無汞光源



DLP/DMD 光刻照明光源產品規格:

輻射輸出功率
  • DLP9500蕞高30W

  • DLP7000蕞高20W

波長配置
  • 365nm、385nm、395nm、405nm

  • Single and multi-wavelength setups available

光出口角
  • ±12°

  • 匹配DLP微鏡傾斜角度

照明均勻性和DMD芯片溢位
  • >90%均勻性

  • >10%溢位

熱管理
  • 液體冷卻設置

  • 快速連接、無泄漏耦合

  • 所需入口溫度≤25℃ <25°

使用壽命
  • >3000h

  • 模塊化、易于更換系統、蕞大限度減少停機時間

LED-驅動器
  • 每個通道0-3A、每個LED陣列18個通道

  • 恒流、可調光、脈寬調制

外部接口
  • USB 2.0

  • 10/100Mbps以太網

  • RS-232 (TIA-232-F)

程序串行(USB)和遠程登錄(以太網)通信命令集
尺寸和重量
  • 照明器:27.5cm×8cm×8.5cm

  • 驅動器:23cm×29cm×4.5cm

重量
  • 照明器:~1.5kg

  • 驅動器:~2kg




更多詳情請聯系昊量光電/歡迎直接聯系昊量光電

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